李东翻开通讯录,果断拨通了一个魔都的号码。
……
魔都,华轩科技研发总部大楼。
张默已经将近一个月没有回过家了。
原因嘛……
自然是李东在华轩杯决赛卷子上留下的那个思路,虽然李东后续说没法落地,但是在李东看来无法解决的困难,在他们看来,只是比较麻烦而已。
放弃对浸没液温度的死控,转而通过定制化窄线宽可调谐arf激光器,同步微调光源的真空波长来抵消折射率的波动,以此维持相位的绝对恒定!
这个思路,在光学理论上已经走通了。
至于算例瓶颈?
那只是因为,之前不值得去做而已,不然这个瓶颈早不在了。
就在这时,一个组员突然从工位上跳了起来,手里抓着一叠打印出来的数据报告。
“组长!
组长!”
“我们往前走了一步!
真的走通了一步!”
张默转过头看着他。
“说!”
“我们尝试放弃了实时全流域直接数值模拟,先通过大涡模拟完成全工况流场数据库构建。”
“再基于本征正交分解搭建了降阶预测模型,还在边界层贴近晶圆的微米级区域,加入了局部启发式流场修正算法!”
组员激动的指着数据曲线。
“结果显示,在额定扫描速度区间内,流热耦合带来的折射率场预测误差,被稳定控制在了光刻制程允许的容差范围内!”
“虽然只是个近似解,但前馈控制的响应延迟,已经被压缩到了理论上的300微秒!”
张默倒吸一口李东,感觉头皮一阵发麻。
“你算过没有?
如果我们要彻底攻克这个算法瓶颈,把延迟压缩到 200微秒的量产硬指标以内,还需要多久?”
组员也冷静了下来,根据现实的数据反馈给出了一个评估。
“立刻落地肯定是不可能的,算力硬件和算法优化的缺口都在这里。”
“但是,只要按照现在这个大纲方向死磕,多砸点资源进去训练模型,大概一两年就可以解决。
对于半导体设备这种核心技术动辄以十年为研发周期的领域来说。
一两年就能完成从原理验证到量产落地,已经算得上是光速推进了。
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